微細加工光學技術國家重點實驗室

微細加工光學技術國家重點實驗室依託單位為中國科學院光電技術研究所。實驗室於1991年由國家計委批准建設成立。1993年12月，經國家計委各國科學院批准對外開放，並1996年通過國家驗收。

簡要概況

微細加工光學技術國家重點實驗室依託單位為中國家科學院光電技術研究所^[1]。實驗室於1991年由國家計委批准建設成立。1993年12月，經國家計委各國科學院批准對外開放，並1996年通過國家驗收。實驗室主任為羅先剛研究員，本屆學術委員會主任為周炳琨院士。

研究領域

實驗室以推動微細加工光學技術中關鍵科學和技術問題的實質性進步為目標，以基礎研究服務於國家重大戰略需求為宗旨，瞄準微納光學國際前沿，圍繞電磁波與微納結構相互作用，深入研究微納結構中電磁波的新現象及機理、微細結構的產生方法，形成新概念材料、微納光電子器件及系統等方面的基礎和應用基礎創新研究、人才培養和科普教育基地。

實驗室主要開展微納光學及亞波長光學、微光學與微系統、微納加工技術及裝備、高分辨成像及光譜技術四個方向的研究。研究內容包括：亞波長人工結構材料、超衍射光學、視光學波前工程、微納光學、微細加工技術及裝備、MEMS技術^[2]、193nm光刻、輕量化高分辨成像等。

交流合作

微細加工光學技術國家重點實驗室與本領域國內外數十餘家科研院所、大專院校有良好的合作關係。與英國曼切斯特大學、美國伯克利大學、新加坡國立大學、英國盧瑟福國家重點實驗室、瑞士蘇黎世CSEM實驗室和美國SUPERARRAY公司以及四川大學、中國科學院微電子中心、上海技物所等單位在微光學、微電子光學及其應用開展了卓有成效的合作交流。

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